據(jù)介紹,常規(guī)的硅壓力傳感器只能在120℃以下進(jìn)行壓力測(cè)量,超過120℃時(shí),傳感器的性能會(huì)嚴(yán)重惡化以至失效。常規(guī)的測(cè)量方法和手段不能滿足高溫等惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量和自動(dòng)化領(lǐng)域越來越高的測(cè)量精度要求,致使我國(guó)高溫壓力傳感器產(chǎn)品長(zhǎng)期以來主要依賴進(jìn)口。耐高溫壓力傳感器能在-30℃~250℃環(huán)境下進(jìn)行壓力測(cè)量,可完成1000Mpa以下任意量程范圍的壓力測(cè)量,能承受2000℃瞬時(shí)高溫沖擊?蓾M足高溫、高壓、高頻響及瞬時(shí)高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量,具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),國(guó)內(nèi)在此領(lǐng)域的多項(xiàng)空白,對(duì)于推動(dòng)我國(guó)儀器儀表工業(yè)的發(fā)展,培養(yǎng)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)具有重要意義。
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